| Размер клапана |
22 (сильфоны на 2 осях , для подложек 200 мм) , 31 (сильфоны на 1 оси , для подложек 300 мм) |
|---|---|
| Тип клапана |
1 (Бескорпусный тип) , 2 (Стандартный кассетный тип) , 3 (Кассетный тип Half MESK) , 4 (Кассетный тип Full MESK) |
| Размеры окна |
32222 (32×222 , для подложек 200 мм) , 46236 (46×236 , для подложек 200 мм) , 50336 (50×336 , для подложек 300 мм) |
| Материал уплотнения затвора |
1 (FKM) , 2 (Kalrez® 4079) |
| Датчик положения и разъем |
Нет , A (2 шт D-A93 с проводом 0.5 м , без разъема) , C (2 шт D-A93 с многоштырьковым разъемом) , F (2 шт D-A93 с разъемом D-sub) |
XGT, Щелевой затвор для высокого вакуума
- Уплотнение со скребком для защиты полости
- Упругое демпфирование для открытия и закрытия: поглощения ударов
- Стопор конечного положения
- Срок службы два миллиона циклов
Характеристики